ハイメタル工業株式会社
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営業品目
HM-R
回転検出機能付
高真空用磁気結合式回転導入機
HM-Rシリーズ
クリーンバキューム
すべての真空内部機構部品のシステマティックな製作・開発が私たちの目的とするところです。今日の真空技術の発展は、目を見張るほどのめざましいものですが、私達はこの技術発展に充分お応えするべく常に技術を磨き、よりよい製品をお届けするため、日々努力を惜しみません。
何卒、ご支援のほど、お願い申し上げます。
ハイメタル工業株式会社 代表取締役 江森昭夫

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特長
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真空側回転シャフトに特殊マグネットチップを配置し、これ を検出する高性能磁気近接センサを外部(大気側)に持つ 高真空用磁気結合式回転導入機です。
■特許出願中/特願2004-83921(日本), 国際特許出願中
回転状態のマグネットチップをパルス的に検出することが 可能なため、被駆動物が確実に動作していることを確認で きます。
HM-R シリーズに使用のセンサはDC12V または DC24V を供給することにより信号出力が可能ですので シーケンサ、PC等に信号を取り込み、回転状態を制御また はモニタすることが可能です。
HM-R シリーズは、特に高真空または清浄雰囲気中で使用 することを主眼におき、“清浄”であることを第一に考えてお りますので、10-6Pa 以下の高真空領域まで安心して使用 できます。
オールメタル製ですので200℃以下のベーキングが可能 です。(但し磁気近接センサはベーキング不可)
真空ハウジングは精密一体加工により従来のロウ付け構 造は使用しておりません。従ってフランジシール部分以外の リークの可能性はほとんどゼロです。
用途
特殊雰囲気、高真空チャンバ内の駆動伝達で、真空側軸が確実に動作していることを確認することが必要な場合。
回転数をカウントすることにより移動距離を制御する場合。
回転をラックアンドピニオン等で直線移動に変換し、その移動距離をHM-R シリーズ付属のセンサにて制御する場合。
その他、直線運動用伝達および位置決めが必要な機構向け。
装着例1
真空蒸着装置・スパッタ装置の治具回転駆動用

通常、蒸着・スパッタ装置等の基板治具は所定の膜厚分布を得るために、ある回転数にて真空チャンバ内を回転しています。
この回転が何らかの原因で止まった場合、基板の膜厚分布が異常になり製品として使用不可能になります。HM-Rシリーズを使用することにより回転異常を即座に検出し、次行程に移る前に不具合を検出し、損害を最小限にとどめることが可能です。

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装着例1
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装着例2
液晶パネル加熱ファン等の回転検出及び移動位置検出

液晶パネルは液晶を注入する前に加熱を行う場合があります。この時高純度のガス雰囲気中にて基板温度を一定にするため、加熱ガスを攪拌する必要があります。この攪拌用のファン駆動導入用にHM-R シリーズを使用することにより、ファンそのものの回転をモニタすることが可能になり、異常があった場合、素早い対応が可能になり信頼性が飛躍的に高くなります。
また、基板の駆動及び位置検出も可能です。
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装着例2
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