ハイメタル工業株式会社
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5槽式超音波洗浄装置

洗浄剤パインアルファST-100Nを用いた5槽式洗浄機により、真空装置部品を洗浄する。

≪洗浄システムの概要≫

本システムは、5槽式洗浄機、真空蒸留回収装置、純水製造装置により構成される。
洗浄機は、第1槽が洗浄剤パインアルファST-100Nを60℃に加熱し、噴流により不水溶性、水溶性切削油等の溶角除去を行う。
第2槽は洗浄品及び洗浄用カゴ等に付着したパインアルファをエアーブローにより液切りを行う。
第3槽は、温水リンス槽で蒸留回収装置を通している。又、パインアルファをリンスすると同時に超音波により洗浄部品に付着した不純物を除去する。
第4〜5槽は、純粋槽で純水製造装置により純水分が供給される。

洗浄システム

洗浄システム

≪パイン洗浄工程表≫

5槽式洗浄機
洗 浄 内 容
時  間
1槽目
パインαにて脱脂洗浄(超音波1200W×4)
(パインαST100N)荒川化学工場製
洗浄時間 7分
2槽目
エアーブローに液切り 液切り時間 7分
3槽目
市水にて超音波洗浄(超音波1200W×4) 洗浄時間 7分
4槽目
純水にてリンス洗浄(常温) リンス洗浄 7分
5槽目
純水にてリンス洗浄(40℃) リンス洗浄 7分
乾燥機にて乾燥(110℃) 乾燥時間 10分


5槽式洗浄機
新規部品及び再生品の洗浄処理


半導体装置内部品

T.F.T、E.L、液晶

タンタル、チタン、ウエハーホルダー、基盤治具、
ボルト、ナット、リフレクター、ヒーター 等

ステンレス、チタン、アルミ、モネル、M.C.アロイ、ニッケル、等
キャリアー、トレイ、マスク、電極板、防着板 等

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